Rudolph/Onto F30 Inspektionsmaschine

Condition: used
Wafer-Size: 6″/150mm, 8″/200mm

 

-Platform is specified for ISO5

-Filter wheel with color selection (RGB)

-1x, 3x, 5x, 10x , 20x review

-Has a OCR reader

-Dark field function implemented

-It can use the Discovery/True ADC software for offline review

-CD measurements are possible, but there is no separate optic available for this

-Bare wafers only. Must be modified if sawn wafers are on frame

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